化学阀在半导体设备的应用主要在输送各类的液体，如纯水， 氢氟酸，硫酸和氨水等。已经被广泛使用在各类湿式制程，如硅片清洗, CMP和刻蚀，为半导体制程设备中不可或缺的重要零部件。
化学阀对阀体及使用零部件的洁净度、耐腐蚀性、可靠性及使用寿命等要求很高。而化学阀开发技术长期被国外所垄断，属于卡脖子工程，一方面产品交期长，另外一方面技术不可控。因此，如何将半导体化学隔膜阀国产化变成为一个重要课题。这需要从材料，结构，流体力学和散热等为不同领域做深入的研究探讨解决。
化学阀开发挑战
材料：国内找不到合适的高纯度等级的氟系高分子材料作阀体使用
阀零件材料的选配难度较高
结构设计
阀体和阀件设计密封性较差
变形的问题没有办法克服
加工
阀体收缩造成的尺寸变异
阀体内表面光洁度无法保证
膜片加工精度的管控
材料选择
化学气动阀零部件的材料
| 零部件 | 外观 | 材料 |
| 阀体 |  |
FEP, PFA |
| 气动壳体 |  |
PTFE, PVDF, PFA, PP |
| 弹簧 |  |
Stainless steel (PTFE 喷涂) |
| 轴心 |  |
PP，PVDF |
| 膜片 |  |
PTFE |
| 阀座 |  |
PVDF，PTFE，PP |
结构设计
未来工作
结合材料，结构设计並搭配电脑仿真模拟的技术，科学化的确认结构和阀体加工条件，减少开发周期并达到预定技术设计指标。
